Halbleiterflüssigkeiten – Reinstmedien für Fertigungsprozesse

Für Chiller, Ionenimplantatoren, Trockenätzer und CVD-Maschinen werden besonderst hochqualitative Flüssigkeiten verwendet. 
Unsere Materialien erfüllen alle Anfoderungen, sind qualifiziert und getestet und (größtenteils) ab Lager verfügbar. 

HFE-Flüssigkeiten (Hydrofluorether) sind spezielle Kühl- und Reinigungsmittel, die in der Halbleiterindustrie eine wichtige Rolle spielen. Sie zeichnen sich durch ihre hervorragenden Eigenschaften aus, darunter eine hohe Wärmeleitfähigkeit, eine präzise Siedetemperatur, ein rückstandsloses Verdampfen und eine ausgezeichnete chemische Stabilität.

In der Halbleiterfertigung werden HFE-Flüssigkeiten vor allem für die präzise Reinigung, das Trocknen und die Kühlung eingesetzt. Sie helfen dabei, empfindliche Bauteile schonend und effektiv von Verunreinigungen zu befreien, ohne dabei die Materialien anzugreifen. Zudem sind HFE-Flüssigkeiten umweltfreundlich und haben ein geringes Treibhauspotenzial, was sie zu einer nachhaltigen Wahl in der modernen Industrie macht.

Produktspezifikationen im Details

Wenn Sie mehr über die Anwendungsmöglichkeiten und Vorteile von HFE-Flüssigkeiten in der Halbleiterindustrie erfahren möchten, kontaktieren Sie uns. 

HFE-7500 (CAS-Nummer 297730-93-9) ersetzt 3M™ Novec™ 7500 und Fluorinert™ FC-3283

HFP-110 (CAS-Nummer 6792-31-0) ersetzt 3M™ Novec™ 7500 und Fluorinert™ FC-3283 

HFE-7200 Mixture (CAS-Nummer 163702-06-5 und CAS-Nummer 163702-05-4) ersetzt 3M™ Novec™ 7200 

PFPE-200 (CAS 69991-67-9) ersetzt Solvay Galden® HT200

Alle unsere Materialien werden in einem externen Labor auf ihre Reinheit geprüft und überzeugen durch ihre sehr hochwertige Qualität.